中国设备工程论文文库

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大电流柱形靶真空电弧沉积设备国产化替代研究

大电流柱形靶真空电弧沉积设备国产化替代研究

时间:2025-10-27 作者:郭子平,程思恩,李俊辰,黄恬,张莉,王乐伟
【摘要】本研究以我国引进的第一代单弧真空电弧沉积设备为研究对象,通过 PLC 控制与数字通信升级,弧电源和偏压电源优化,创新设计三段两组式阴极磁场线圈,新增真空度闭环控制系统等手段完成设备改造,并对改造后结果进行验证。研究表明,改造后设备电气系统的稳定性显著提升,磁场线圈对电弧约束能力增强,设备平均断弧次数由 7.6 次降至 1.2 次。偏压值对涂层沉积有较大影响,充氩低真空环境保障涂层性能达标。改造后设备完全自主可控,满足航空发动机涂层制备需求。
关键词:真空电弧沉积;国产化替代;电气系统改造;电弧稳定性;偏压值影响
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