【摘要】氟硅材料广泛应用于军工、航空航天、石油化工、电子信息、电力电器和战略性新兴产业等工业领域和高新技术领域，是重要的化工新材料。氟硅行业生产过程中，伴随产生的氟硅废气具有腐蚀性、毒性和易燃易爆性等特点，采用单一的治理技术往往难以达到治理效果，通常情况下需要采用多种治理技术的组合治理工艺。本文介绍了一种 TO 直燃 + 多级喷淋 + 除尘的组合工艺，在实际工程中获得了良好应用。