【摘要】对于涡轮增压发动机压力传感器在高温环境下失效通常会严重影响涡轮发动机的性能，甚至可能引发机械故障的现象，普遍基于硅衬底的压力传感器由于受到 PN 结耐温限制，通常只能在 120℃以下进行压力测量，一旦超过时，传感器的性能会严重恶化以至失效。因此，对于耐高温压力传感器在汽车涡轮增压发动机应用的研究有着重要作用。基于此，对 4H-SiC 的压阻效应原理进行综合分析与计算仿真，设计出了一款量程为 1MPa 的耐高温压阻式压力传感器，并通过仿真数据证明了此设计的可行性。