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工艺流程与应用
超高纯工况下隔膜阀的结构设计优化
时间:2026-07-30
作者:林淼,叶鹏,卢冰
【摘要】基于半导体、医药等行业在生产过程中对流体控制元件洁净度有着极高的要求,本文将对企业现有的一款隔膜阀进行优化,聚焦“无死角、无残留、无螺栓”三大核心要点开展结构设计研究,升级开发一款更适合于超高纯工况下的隔膜阀,使其能更好地应用于半导体、医药等洁净度要求极高的行业,同时,还能提升国产超高纯隔膜阀的市场竞争力,具有一定的工程应用价值与行业参考意义。
关键词:隔膜阀;超高纯工况;无螺栓;无残留;无死角
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