工艺流程与应用

时间：2022-05-24 作者：王萍，戴斐

【摘要】原子力显微镜是一种原子级高分辨、高灵敏度的新型测量仪器，在微观领域及特殊领域被广泛应用。由于在测量样品形貌的时候存在扫描速度慢、耗时长的缺点，可通过引入软件 PID 反馈控制和硬件 PID 反馈控制等方法来有效提高其扫描速度。

关键词：原子力显微镜；反馈控制；压电陶瓷

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