【摘要】本文主要研究砂轮划片机在切割晶圆的过程中，转角模块的各个参数对晶圆磨削切口质量的影响，通过实验对其进行了系统的工艺分析，并给出了砂轮划片机转角模块对晶圆划切工艺的调整改进方案。结构方面根据原来的转角模块存在的不足进行了改进，改进后的转角模块结构使调节吸盘上表面水平更加方便，砂轮片切割晶圆效果更加精准，减小了划切晶圆的缺陷率。