工艺流程与应用

时间：2022-12-06 作者：陈远新，于跃，杨亮

【摘要】8寸及以上晶圆用原生半导体级多晶硅料对产品质量要求极高，在硅料生产过程中，与硅料接触的材料是产品质量失效模式的主要影响因素之一，因此，对许多关键材料的选择十分重要。本文主要从半导体级多晶硅生产过程中的原料接触材料、产品接触材料分析其潜在风险及最优的材料选择。

关键词：半导体级多晶硅；材料；选择

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