中国设备工程论文文库

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Ag 层厚度对 AZO/Ag/AZO 薄膜 性能影响的研究

Ag 层厚度对 AZO/Ag/AZO 薄膜 性能影响的研究

时间:2023-09-07 作者:张健峰
【摘要】透明导电薄膜广泛应用于太阳能电池、触控面板、液晶显示等领域。本文采用磁控溅射法制备 AZO/Ag/AZO 透明导电薄膜,研究 Ag 层厚度对 AZO/Ag/AZO 透明导电薄膜光电性能的影响。结果表明,AZO 薄膜是具有六方晶系 ZnO 纤锌矿结构的多晶相。当 Ag 层厚度增加时,AZO/Ag/AZO 薄膜的(002)衍射峰略向较高的角度移动且半高宽略微增大,晶粒尺寸和晶面间距减小。AZO/Ag/AZO 薄膜的电阻率,方块电阻,光学透射率与 Ag 层的厚度密切相关。随着 Ag 层厚度的增加,电阻率减小,透射率减小。品质因数表明,其中 Ag 层厚为 5nm 的AZO/Ag/AZO 三层薄膜具有较好的光电性能。
关键词:明导电薄膜;AZO/Ag/AZO;磁控溅射法;Ag 层厚度
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