【摘要】近年来，我国现代信息技术水平日益提升，光学分析领域不断进步，电感耦合等离子体光谱仪等光学仪器的应用范围变得越发广泛。电感耦合等离子体光谱仪将电感耦合等离子体当作光源，可开展无机元素分析，是一种应用价值极高的精密仪器。该仪器在养护方面需要注意许多问题，一旦养护不当，将严重缩减其使用寿命，还会影响检测结果的精准度。本文简述电感耦合等离子体光谱仪的运行原理，分析其合理可行的养护措施，以期为相关人员提供参考。