【摘要】真空沉积腔是当前国内外薄膜太阳能领域的重要设备之一，腔体真空和温度均匀性要求很高，其结果直接影响镀膜效果，最终决定发电性能。为了使这些设备能够满足生产需求，创造出最理想的效益，应积极将智能化制造理念渗透到真空沉积腔的电气设计方面，运用高端的 PLC 与组态软件提高真空腔体的真空稳定性和温度均匀性，确保能够生产出优质高效的薄膜电池。