工艺流程与应用

时间：2025-04-23 作者：张铠超

【摘要】在当前社会发展的过程中，自动化控制技术得到了快速的发展，西门子PLC和变频器VFD在光伏/半导体行业中得到了广泛的使用，本文就其在硅片链式酸刻设备控制系统中的应用进行阐述。刻蚀工艺的正确进行是很关键的，否则芯片将不能工作。不正确刻蚀的硅片就只能报废，给硅片制造公司带来损失。

关键词：西门子PLC和VFD；链式酸刻设备；刻蚀工艺

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