工艺流程与应用

时间：2025-04-23 作者：周水清，邬远航，何永平，赵瓛，姬常晓

【摘要】为解决立式氧化炉控制系统控制精度不高、稳定性差、操作复杂等问题，本文研究和设计一种高效、稳定、可控性强的立式氧化炉控制系统。该控制系统旨在系统提高制造效率和产品质量，并通过实验验证该系统可行性和优越性。

关键词：立式氧化；控制系统；架构设计

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